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| Brand Name: | 永容科技 |
| Model Number: | RTSP1000 |
| MOQ: | 1 台 |
| 价格: | 面议 |
| Payment Terms: | T/T |
| Supply Ability: | 5 台/月 |
FCEV是燃料电池汽车的简称,它是一种新技术的绿色环保节能汽车.不同于干电池和需要重复充电的可充电电池,其核心技术是如何通过氢气与氧气之间的电化学反应,利用燃料电池的功率模块产生电能.通过科学家,汽车制造商的工程师及技术人员经过多次的测试与反复验证,最终开发出了适当的加工工艺.
在过去的几年里,永容科技一直与客户紧密合作,成功地设计和制造了高产能,商业化,标准化的溅射沉积系统.我们相信这项技术将为氢能源燃料电池动力汽车的发展起到至关重要的作用。
RTSP1000镀膜机是一种单体式磁控溅射系统,可在金属和非金属材料基片上沉积 金，钽等贵金属应用于氢燃料电池汽车,光电产品,航空航天等新能源产业.
此设备配有永容科技自我研发的高靶材利用率平面磁控溅射阴极，降低镀贵金属的生产成本。
平面阴极：宽90mm * 长960mm， 有效镀膜区长度为650mm
靶材一次利用率为>35%, 高可达40%
靶面最大水平磁场强度600GS(根据不同材料， 设置不同磁场强度,端部磁场强度不受此约束). 终端使用者需 明确其使用要求。
靶面磁场均匀性<5%（沿靶材长度方向测量,端部磁场强度 不受此约束）
可溅射 金，银，钽等多种金属
此设备既可作为R&D 涂层工艺研发也可作为小批量生产 机型。
基本技术参数
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型号 |
RTSP1000 |
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腔体材质 |
SUS304 |
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腔体尺寸 |
Φ1000*1000mm (H) |
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膜沉积源 |
平面磁控溅射阴极 |
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电源 |
磁控溅射电源， |
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工件清洗 |
单级脉冲偏压， |
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主要应用靶材 |
金, 银，锆，钽等 |
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抽真空系统 |
单级油旋片泵 （Leybold 莱宝） |
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维持泵 （Leybold 莱宝） |
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罗茨泵 （Leybold 莱宝） |
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磁悬浮分子泵 （日本大阪真空） |
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气路系统 |
MFC：2路 (Ar 200SCCM & N2 50SCCM) |
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控制系统 |
西门子PLC + 工业电脑 |
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保护系统 |
多重互锁保护 |
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加热系统 |
12KW(根据基材材质和工艺需求 --备选) |
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冷却系统 |
盘管式 |
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最大耗电量 |
70KW （估算.） |
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平均耗电量 |
40KW （估算.） |
膜层特征:
1. 提高表面电导率；
2. 高耐蚀性；
3. 高耐磨性；
4. 高硬度
5. 薄膜厚度：纳米级别，厚度公差±5%
6. 附着力强.
特点: 标准、模块化设计
1. 环保型系统,无工业废水,空气及噪音污染；
2. 操作简单: IPC工控机+西门子PLC控制,程序为永容科技自我开发，便于以后升级；
电控系统严格按照CE标准设计制造
3. 专用转架设计结构,薄膜沉积均匀度高.公自转机构
4. 高生产率和高质量膜层
5. 稳定可靠的系统,运行365天*24小时(维修保养时间除外)
6. 高效泵系统:采用欧洲知名品牌泵,合理的真空管道布局,缩短抽真空时间
7. 紧凑型设计,安装空间： 4500x2000x3000MM (L*W*H)
8. 设备总重： 约7000KG。
9. 整机总功率：约 60KW ；平均使用功率：约35KW
高靶材利用率
