RTSP1420-HMDSO 磁控溅射镀铝+PECVD硅油保护设备

磁控溅射镀铝的优势:  膜厚可以控制, 利用镀半透效果的产品. 

HMDSO 镀膜是指利用 PECVD 技术以六甲基二硅氧烷（HMDSO）作为镀膜材料，通过特定的真空镀膜设备在物体表面形成一层薄膜的过程。HMDSO 是一种有机硅化合物，其化学结构中含有硅 - 氧（Si-O）键和甲基（-CH₃）基团，这种结构特点赋予了镀膜许多优良的性能。

镀膜原理

等离子体增强化学气相沉积（PECVD）：这是 HMDSO 镀膜常用的方法。在 PECVD 过程中，首先将反应室抽成真空，一般真空度达到 10⁻³ - 10⁻⁵帕斯卡左右。然后将 HMDSO 气体引入反应室，通过射频（RF）电源产生等离子体。等离子体中的高能电子、离子等活性粒子与 HMDSO 分子相互作用，使 HMDSO 分子分解并重新组合，在基底表面发生聚合反应，形成以硅氧键（Si - O）为主要结构的薄膜。

反应过程细节：在等离子体环境下，HMDSO 分子中的 Si - O 键和 C - H 键会被等离子体中的活性粒子打断。例如，高能电子与 HMDSO 分子碰撞，使分子获得足够的能量而发生解离。这些解离后的活性基团在基底表面重新组合，形成具有三维网络结构的薄膜。其中，硅原子通过氧原子相互连接，形成稳定的硅氧骨架，而甲基基团则分布在骨架周围，影响薄膜的表面性能。

镀膜的性能特点

良好的附着性：HMDSO 薄膜能够与多种材料表面紧密结合，包括金属、玻璃、陶瓷、塑料等。这是因为在沉积过程中，薄膜与基底表面会发生化学键合或物理吸附，使得薄膜不易从基底上脱落。例如，在玻璃表面镀膜时，薄膜中的硅氧键可以与玻璃表面的羟基（-OH）基团形成氢键或共价键，从而增强附着性。

化学稳定性：该薄膜对酸、碱、盐等化学物质具有较强的耐受性。由于其主要结构是硅氧键，硅氧键的键能较高，使得薄膜能够在腐蚀性环境中保持稳定。例如，在化工、海洋等恶劣环境下使用的部件，经过 HMDSO 镀膜后可以有效防止化学腐蚀。

光学性能良好：在可见光范围内，HMDSO 薄膜通常具有较高的透明度，可用于光学元件的表面处理。同时，通过调整镀膜工艺参数，可以控制薄膜的折射率，实现减少反射、增加透光率的效果。比如在光学镜片上镀膜，能够降低镜片表面的反射光，提高视觉清晰度。

绝缘性能优异：薄膜具有较高的电阻率，可作为良好的绝缘层应用于电子器件中。这是因为硅氧键构成的结构阻止了电子的传导，使电流难以通过薄膜。在集成电路、电子元件等领域，HMDSO 镀膜可以起到绝缘和隔离的作用。

低表面能和自清洁性：HMDSO 镀膜后的表面具有较低的表面能，使其呈现疏水性和疏油性。当液体（如水、油）接触到镀膜表面时，由于表面能的差异，液体会形成水珠或油珠滚落，而不会在表面扩散形成污渍。这种自清洁性能可以减少灰尘、油污等污染物在表面的附着，保持表面的清洁。

应用领域广泛

半导体行业：在半导体制造过程中，HMDSO 镀膜可用于晶圆表面的钝化保护，防止晶圆受到污染和氧化。同时，在光刻工艺中，它可以作为光刻胶的预处理层，改善光刻胶与基底的粘附性，提高光刻精度。

光学和光电领域：用于光学镜片、显示屏、太阳能电池板等光学和光电设备的表面镀膜。通过减少反射、提高透光率、增加耐磨性和抗污染性，来提升这些设备的光学性能和使用寿命。

电子器件领域：作为绝缘层应用于集成电路、微机电系统（MEMS）等电子器件中，实现器件的绝缘和隔离。还可用于电子元件的表面保护，防止元件受到腐蚀、氧化和静电等因素的影响。

汽车和机械领域：在汽车车灯反光碗、汽车玻璃、机械部件等表面镀膜，提高部件的耐腐蚀性、耐磨性、光学性能和自清洁能力。

医疗器械领域：可用于医疗器械的表面镀膜，如手术器械、植入式医疗器械等，提高器械的生物相容性、耐腐蚀性和抗菌性，减少器械与人体组织的摩擦和粘附，降低感染的风险。

上海永容光电科技有限公司率先成功研制了 PVD 与PECVD ( HMDSO)复合式真空镀膜设备用于 汽车前大灯, 尾灯等反光碗的镀膜. 其中 PVD技术有 电阻式蒸发镀铝和 DC直流磁控溅射镀铝的设备可供选择.
汽车车大灯反光碗镀膜的目的和优势:

1. 提高反射率：车灯反光碗的主要功能是反射光线，HMDSO 镀膜可以有效提高反光碗的反射率。通过在反光碗表面形成一层均匀、致密的薄膜，减少光线在反射过程中的吸收和散射，使更多的光线能够按照设计方向反射出去，从而提高车灯的亮度和照明效果。例如，在传统的金属反光碗表面镀膜后，反射率可从原来的 70% - 80% 提高到 90% 以上。

2. 增强耐久性：

2.1 化学稳定性：汽车在行驶过程中，车灯会接触到各种化学物质，如酸雨、汽车尾气中的酸性成分等。HMDSO 薄膜具有优异的化学稳定性，能够抵抗这些化学物质的侵蚀，防止反光碗表面被腐蚀而降低反射率。

2.2 耐磨性：车灯在日常使用中也会受到沙尘、清洗等物理因素的影响。镀膜后的反光碗表面硬度得到提高，能够有效抵抗这些物理磨损，保持反光碗的光学性能。

3. 改善光学均匀性：HMDSO 镀膜可以使反光碗表面的光学性能更加均匀。这有助于减少眩光现象，使车灯发出的光线更加柔和、均匀地照亮道路，提高行车安全性。

4. 赋予特殊功能：

4.1 疏水性：通过特殊的镀膜工艺，可以使反光碗表面具有疏水性。在雨天或洗车后，水珠在疏水表面会形成水珠滚落，而不会在反光碗表面形成水膜。这样可以避免水珠对光线的散射和吸收，保证车灯的照明效果。

4.2 疏油性：同样，也可以使反光碗具有疏油性，防止油污等污染物附着在反光碗表面，保持反光碗的清洁和光学性能。

镀膜的原理和过程

原理：HMDSO 镀膜主要是通过等离子体增强化学气相沉积（PECVD）的方式进行。在真空环境下，HMDSO 气体被引入反应室，通过射频电源产生等离子体。等离子体中的高能电子、离子等活性粒子与 HMDSO 分子相互作用，使 HMDSO 分子分解并发生聚合反应，在反光碗表面形成一层以硅氧键为主要结构的薄膜。

过程：

预处理：首先要对车灯反光碗进行清洁和预处理，去除表面的油污、灰尘等杂质，以确保薄膜能够牢固地附着在反光碗表面。可以采用超声波清洗、化学清洗等方法进行预处理。

抽真空：将镀膜设备的反应室抽成真空，一般真空度要达到 10⁻³ - 10⁻⁵Pa左右，为镀膜创造一个纯净的环境，减少杂质气体对镀膜过程的干扰。

气体引入和等离子体产生：将 HMDSO 气体通过气体输送系统精确地引入反应室，同时开启电源产生等离子体。在这个过程中，要控制好 HMDSO 气体的流量和电源的功率。HMDSO 气体流量一般在 1 - 10 毫升 / 分钟，电源功率通常在 100 - 500 瓦之间，具体参数要根据反光碗的大小、形状和所需薄膜的性能来确定。

沉积过程：在等离子体环境下，HMDSO 分子在反光碗表面发生沉积，形成薄膜。沉积时间根据需要可以为几分钟, 以形成足够厚的薄膜来满足反光碗的性能要求。

后处理：镀膜完成后，需要对反光碗进行适当的后处理，如冷却、检测等。冷却过程要缓慢进行，以避免薄膜因热应力而产生裂纹等缺陷。检测主要是检查薄膜的厚度、反射率、均匀性等光学和物理性能是否符合要求。

PECVD技术的优势: 与其他镀膜材料和方法的比较

与传统金属镀膜比较：传统的金属镀膜如铝镀膜可以提高反光碗的反射率，但金属镀膜的化学稳定性和耐磨性相对较差。HMDSO 镀膜不仅能提高反射率，还能在化学稳定性和耐磨性方面表现出色，更适合在恶劣的汽车使用环境中保持良好的性能。

与有机镀膜材料比较：一些有机镀膜材料虽然也能赋予反光碗一定的保护功能，但在光学性能上可能不如 HMDSO 镀膜。HMDSO 镀膜可以精确控制薄膜的厚度和光学性能，能够更好地满足车灯反光碗对反射率和光学均匀性的严格要求。

与其他镀膜方法比较：如物理气相沉积（PVD）方法，PECVD 方法用于 HMDSO 镀膜具有独特的优势。PECVD 可以在较低的温度下进行，能够适用于多种材料的反光碗，包括一些不耐高温的塑料反光碗。而 PVD 方法可能需要较高的温度，并且在形成具有特殊功能（如疏水性）的薄膜方面可能不如 PECVD 方法灵活。

1. PVD蒸镀/溅射镀真空镀膜设备在汽车领域的应用

A：汽车车灯反光碗

B：汽车塑料内外饰、把手

C：汽车LOGO, LED板

D：汽车边框和保险杠

2. 基材：

2.1 BMC部件

2.2 PC+ABS、ABS

2.3. 铝合金

经过近二十年的发展, 上海永容光电科技有限公司通过终端使用客户的反馈,对此 HMDSO硅油保护复合式真空镀膜设备不断升级,完善并最终确定如下标准机型供您选择: 

RTEP1600-HMDSO, 镀膜腔体内尺寸（直径*高）1600*1600 mm

RTEP1800-HMDSO，镀膜腔体内尺寸（直径*高）1800*1980 mm

RTSP1420-HMDSO，镀膜腔体内尺寸（直径*高）1420*1980  mm

RTSP1420-HMDSO，适用于高产能需求（镀膜周期 10 分钟/炉），免底涂. 设备与塑料注塑机连接，注塑件直接进入 镀膜腔体中进行 PVD+HMDSO涂层工艺。

RTEP1600-HMDSO 和 RTEP1800-HMDSO 是PVD电阻式蒸发镀膜机。
RTSP1420-HMDSO 为 PVD磁控溅射镀膜机.

技术优势

—–一键操作，高生产效率，高产量，节能环保工艺。

设备设计优势:

A：双开门结构，可快速装卸，产量高；

B：坚固的结构设计；

C：高真空抽速配置；

D：西门子PLC +西门子触摸屏操作系统，全自动/手动控制；

E：方便进入工作环境进行维护工作；

F：独特的旋转架和蒸发系统，确保高均匀性。

—– 基板到蒸发源的高度可灵活调整；

—– 蒸发源距离可调；

——轰击装置，附着力强（您的机器可能不需要此装置）

G：HMDSO模块做保护层。PVD金属化和HMDSO（PECVD工艺）在PVD机腔内完成，避免污染，降低生产成本，提高产量。
H: 生产周期:  12~15分钟 

以下是有关 HMDSO 涂层的一些要点：

疏水特性：HMDSO 涂层以其疏水性而闻名，这意味着它们可以排斥水和其他极性物质。此特性使 HMDSO 涂层在防水性很重要的应用中非常有用。

介电特性：HMDSO 涂层具有良好的介电特性，使其适用于电子和其他行业的绝缘应用。

生物相容性：HMDSO 涂层具有生物相容性，使其适用于医疗设备和植入物中的应用。

光学透明度：根据沉积过程和参数，HMDSO 涂层可以具有光学透明性，这在需要透明度的应用中非常有用。

耐化学性：HMDSO 涂层具有良好的耐化学性，可保护底层基材免受腐蚀或化学侵蚀。

附着力提升：HMDSO 涂层可以提高后续层或涂层在基材上的附着力，从而提高涂层系统的整体耐久性。

摩擦学特性：HMDSO 涂层具有良好的耐磨性和润滑性，适合于低摩擦和低磨损至关重要的应用。

阻隔性：HMDSO 涂层可作为阻隔水分、气体和其他环境因素的屏障，保护基材免于降解。

HMDSO 涂层用途广泛，可应用于电子、光学、航空航天、汽车和生物医学等各个行业。可通过调整沉积参数和工艺来定制 HMDSO 涂层的属性，以满足特定的应用要求。

HMDSO 镀膜工艺：

1) 等离子轰击预处理 — 辉光放电，标准气体为氩气，N2 为可选气体。

2) PECVD 反应 — HMDSO 底涂层，增强基材与铝层之间的附着力。

3) 金属铝膜层沉积

4) PECVD 反应 — HMDSO 保护涂层

5. 步骤 1、2 和 3 被视为 PVD 镀膜前的必要预处理，也是获得高质量镀膜的保证。
1) 如果注塑件为高端模具生产，不需要底漆，车灯可以直接放入真空镀膜机，

镀膜工艺：HMDSO—> 铝镀膜—> HMDSO

2) 如果灯表面不光滑，则需要底漆，因此按照步骤 4 和 5，

镀膜工艺：铝镀膜—>HMDSO

上海永容光电科技可以提供交钥匙服务:提供技术支持和镀膜工艺的培训. 如您有任何技术方面的咨询,请联系我们!期待与您的合作!